多年來，氦氣泄漏檢測(cè)已經(jīng)成為各種應(yīng)用領(lǐng)域測(cè)試氣密性的方法。 與其他氣密性測(cè)試方法相比，它的高靈敏度、測(cè)量的可靠性以及易 重復(fù)性是最有力的優(yōu)勢(shì)。 對(duì)于檢測(cè)測(cè)試氣體，普發(fā)真空提供基于質(zhì)譜原理的檢漏儀。質(zhì)譜儀 對(duì)混合氣體進(jìn)行電離，并在其質(zhì)荷比的基礎(chǔ)上分離出所需的示蹤氣 體。由于質(zhì)譜儀的低檢測(cè)限，普發(fā)真空檢漏儀的高靈敏度得以保 證。