德國(guó) Pfeiffer渦輪分子泵 Hipace 系列，采用復(fù)合軸承設(shè)計(jì)，內(nèi)部主要由陶瓷球軸承，轉(zhuǎn)子軸，安全軸承和磁性軸承組成，正常運(yùn)行3-4年建議做一次標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)，常見(jiàn)的故障情況如下

1.分子泵真空度正常，可以達(dá)到全速，但是噪音大：分子泵運(yùn)行超過(guò)3年，可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損，建議送到專業(yè)真空泵維修中心進(jìn)行拆解檢測(cè)；如果放任不管，后續(xù)會(huì)磨損轉(zhuǎn)子，對(duì)泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷
 

2.油棉污染：油棉變黑，發(fā)黃，建議3-4年更換分子泵油棉，Pfeiffer 復(fù)合軸承分子泵內(nèi)部陶瓷軸承采用油潤(rùn)滑方式，可以給軸承降溫，.減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承，避免污染物附著在軸承上面，有效延長(zhǎng)分子泵的使用壽命。

   3.分子泵無(wú)法啟動(dòng)：用手撥動(dòng)葉片，葉片無(wú)法轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)子已完全卡死，需要立即送修我司檢測(cè)
 

4.異物進(jìn)入分子泵：工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進(jìn)入分子泵時(shí)，會(huì)對(duì)高速旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成巨大損害，建議立即停機(jī)送修檢測(cè)。
 

5.分子泵無(wú)法達(dá)到全速，真空度抽不下去：請(qǐng)檢查前級(jí)真空是否正常，如果是分子泵組，請(qǐng)先打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥抽一段時(shí)間后在觀察下，無(wú)法解決問(wèn)題建議立即送修檢測(cè)