1、機械泵故障及解決

（1）機械泵不啟動。檢查項目有：電源電壓是否畸形，電門是否翻開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱（泵結(jié)冰后是否能啟動）。

（2）機械泵異常噪音。檢查油位是否適合，油質(zhì)是否變壞，油溫是否＜10℃，油霧過濾器的入口有無氣體排出（若無氣體排出，更替油霧過濾器）。

2、分子泵故障及解決

（1）開機2min后壓力批示燈不亮。此時候分子泵未轉(zhuǎn)動，即分子泵出口壓力未到設(shè)定值或未檢測到壓力（通常壓力應(yīng)＜10-3MPa，壓力過高分子泵將無奈啟動）。因而，重要審查招致壓力過高的成分。審查的名目有：PI1真空規(guī)管是否有問題，分子泵入口是否翻開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉(zhuǎn)動，是否達到真空度。

（2）分子泵減速批示燈不亮。CD2通路板上的保險絲燒斷，更替保險絲或?qū)彶槭欠裼卸搪肪跋蟆?/p>

（3）分子泵故障燈亮。審查CD2通路板設(shè)置電門是否在于R地位，此時無須在N地位。審查風扇是否停留，那末風扇畸形，請和廠家聯(lián)絡(luò)。

3、質(zhì)譜室故障

（1）燈絲指示燈不亮。檢查燈絲開關(guān)鍵是否處于關(guān)閉位置（ 再按一下） ，檢查I/O 短接插頭是否儀器后面的接口。

（2）燈絲指示燈閃爍。用萬用表檢查質(zhì)譜室航空插座1 和5 接線柱是否開路，若開路，更換燈絲；若不開路，檢查接線柱6是否和其他接頭導通，消除短路現(xiàn)象。

（3）遙控面板無壓力批示。檢查PI3規(guī)管是否有問題。

（4）當檢漏結(jié)束時壓力不上升。檢查通路板PO318保險絲是否有問題。

（5）檢漏口壓力＞0.01MPa。機械泵油失效或PI3規(guī)管壞。

4、檢測結(jié)束時涌現(xiàn)的故障

（1） 檢漏鍵無效（ 綠色指示燈亮） ：檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。

（2） 檢漏鍵無效（ 指示燈不亮） 。I/O 短接插頭未插入儀器后面插座。如果I/O 短接插頭未插入儀器后面插座，這時檢漏儀將接受I/O 口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。

5、主動校準終了時涌現(xiàn)的故障

主動校準挫?。ㄕ娼z亮）白色校準燈亮。率先審查主動校準設(shè)置，電門S1是否在于OFF地位，所設(shè)置的漏率值和規(guī)范漏孔值是否統(tǒng)一。熱度傳感器是否接上；其次是審查銳敏度（那末用內(nèi)部校準漏孔審查預(yù)示值和理論值統(tǒng)一，儀器也可運用），蕩滌質(zhì)譜室。5、自動校準結(jié)束時出現(xiàn)的故障

自動校準失?。?燈絲亮） 紅色校準燈亮。首先檢查自動校準設(shè)置，開關(guān)S1 是否處于OFF 位置，所設(shè)置的漏率值和標準漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上；其次是檢查靈敏度（ 如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實際值一致，儀器也可使用） ，清洗質(zhì)譜室。

6、檢漏時出現(xiàn)的故障

（1） 不向細檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力＜2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動轉(zhuǎn)換狀態(tài)。

（2） 靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力， 等到質(zhì)譜室壓力＜10-6MPa 時再檢漏；如果壓力達到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。

（3） 氦本底太高。檢查機械泵油是否失效（ 泵油長期使用變質(zhì)會吸附較多的氦氣，導致氦污染） ，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題，如果車間內(nèi)有多臺檢漏儀，且氦氣的使用量較大時，車間通風不好時；或者車間通風良好，但潔凈廠房多采用上送風方式，氣流方向是自上而下，由于氦氣分子量較小，向上擴散，致使氦氣擴散慢，也會導致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口（ 通常通大氣） 處，安裝一個幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環(huán)境的氦污染。

（4） 通常車間檢漏生產(chǎn)之前，會拿樣件試檢漏（ 此樣件通常是生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢品，漏率接近設(shè)定漏率） ，會發(fā)現(xiàn)漏的樣件不漏的現(xiàn)象。這是因為漏的樣件本身漏率較小，經(jīng)過多次檢漏后，微孔被灰塵堵塞而不漏了。一般不要完全相信漏件，漏件多次使用后就不要使用了。

（5） 工裝設(shè)計不合理導致檢漏通不過。初檢時工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過；加死堵檢漏儀不漏，工作正常。這是因為工裝設(shè)計不合理所致，比如工裝結(jié)構(gòu)不合理，內(nèi)表面太粗糙，導致過多的氦氣殘留；或者密封設(shè)計不合理導致密封不可靠（ 由于工裝設(shè)計人員對專業(yè)真空設(shè)計不熟悉） 。

（6） 操作不合理導致故障。如工作中，有一個大漏的工件，由于操作人員判斷錯誤，不認為工件漏，而去檢查工裝的連接或者檢漏儀，多次對這一工件檢漏。這樣就會發(fā)現(xiàn)，所有工件都不過。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后，有大量的氦氣進入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決的辦法是，清理質(zhì)譜室，反復吸氣排氣。